時(shí)至今日，激光加工技術(shù)因其高效率，高精度，非接觸式加工等特點(diǎn)，已經(jīng)成為了工業(yè)應(yīng)用的寵兒，為優(yōu)質(zhì)，高效，環(huán)保的加工生產(chǎn)開(kāi)辟了廣闊的前景。CO2激光，光纖激光以及半導(dǎo)體激光是目前工業(yè)應(yīng)用中的主流激光，其激光脈寬都在微秒，納秒水平。這一脈寬水平的激光是通過(guò)光熱作用來(lái)移除材料，都會(huì)有“熱加工”效應(yīng)。

激光，作為新興加工技術(shù)，面臨著更多的挑戰(zhàn)。由“熱加工”效應(yīng)所帶來(lái)的熱影響區(qū)，熔凝殘?jiān)皯?yīng)變裂紋是限制工件加工精度，效率和工藝重復(fù)性提高的主要原因。伴隨著工業(yè)應(yīng)用的發(fā)展，對(duì)加工的可行性，加工的品質(zhì)以及加工的效率都提出了更高的要求。對(duì)于激光微加工領(lǐng)域一些要求嚴(yán)苛的加工任務(wù)來(lái)說(shuō)，“熱加工”所衍生的不良效果使得微秒，納秒級(jí)脈寬水平的激光無(wú)法滿足其要求。

為了進(jìn)一步提高加工精度，減少加工過(guò)程中存在的熱影響以及熱影響帶來(lái)的衍生不良效果，皮秒激光逐漸滲透到工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域。皮秒激光具有皮秒級(jí)超短脈寬，加工材料時(shí)激光光子直接破壞目標(biāo)材料的結(jié)合鍵，這相對(duì)來(lái)說(shuō)是一種“冷”加工過(guò)程，熱影響區(qū)很小，幾乎沒(méi)有熱影響區(qū)，整個(gè)加工過(guò)程很干凈，沒(méi)有重鑄材料，因而很少需要后期再加工。皮秒激光這些特點(diǎn)注定了它在激光微加工領(lǐng)域的重要地位。

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